Lehrgebiet:
- Mikro- und Nanotechnologie
Vorlesungsthemen:
- Einführung in die Mikrosystemtechnik
- Nanotechnologie
- Herstellung, Strukturierung und Charakterisierung dünner Schichten
- Plasmaprozesse in der mikrotechnischen Fertigung
- Lasertechnik
- Halbleiterphysik
