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Chemische Prozesse in der Mikrosystemtechnik

Bitte beachten Sie: Aufgrund der aktuellen Lage ergeben sich situationsabhängig abweichende Durchführungen von Vorlesungen sowie Laborpraktika - Sprechen Sie uns bei konkreten Fragen gerne an.

 

Allgemeines:

Formelsammlung

 

WINTERSEMESTER


Bachelor

1. Semester:

  Laborveranstaltung Grundlagenlabor Chemie:

      Einführung in die Laborveranstaltung

      Laborskript MNT

      Laborskript ALS

  Vorlesung Allgemeine Chemie 1:

      Vorlesungsunterlagen: 0 12345678

        9101112 13141516171819

      Übungen: 1  2  3

 

3. Semester:

  Laborveranstaltung Lithographie:

    Laborskript

  Vorlesung Lithographie:

      Vorlesungsunterlagen: 1  234567

 

SOMMERSEMESTER


Bachelor

2. Semester:

  Vorlesung Allgemeine Chemie 2:

      Vorlesungsunterlagen: 1234  567

 

6. Semester:

  Laborveranstaltung Chemische Mikrofertigungsverfahren:

      Laborskript

  Vorlesung Chemische Mikrofertigungsverfahren:

      Termine der Vorlesung:  1

      Vorlesungsunterlagen: 12

Vorlesung Instrumentelle Analytik (vertretend):

      Vorlesungsunterlagen: 12 3456

 


Master

1. Semester:

  Laborveranstaltung Elektrochemische Methoden:

      Laborskript

  Vorlesung Elektrochemische Methoden:

      Vorlesungsunterlagen: 12 3456789

10

 

Altklausuren:

  Chemie: ALS 12 MNT 1 2

  Lithographie: 1

  Chemische Mikrofertigungsverfahren: 1

  Elektrochemische Methoden: 12

  Nanostrukturierung: 12