Die Arbeitsgruppe "Chemische Prozesse in der Mikrotechnik" profitiert von der hervorragenden Ausstattung des Studienortes Zweibrücken.

Neben den naturwissenschaftlichen und ingenieurwissenschaftlichen Grundlagenlaboren (Chemie, Physik, Biologie, Biochemie und E-Technik) sowie Großgeräten (zum Beispiel  Rasterelektronenmikroskop) verfügt der Fachbereich IMST über einen umfassend ausgestatteten Reinraum für siliciumtechnische- und LIGA- Anwendungen.


Zusätzliche Ausstattung

Zusätzlich stehen der Arbeitsgruppe noch folgende Geräte zur Verfügung:

• 2 Industrielle Galvanikanlagen für 4-Zoll-Wafer von MOT Mikro und Oberflächen Technik (derzeit für Nickel- und Nickel-Eisen-Legierungsabscheidungen genutzt)
• Gold-Galvanik-Anlage
• Autolab RotaHull - Rotierende Zylinder Hull Zelle
• Potentiostat PGSTAT302N; Metrohm incl. ECD-Modul für kleine Ströme
• Atomabsorptions-Spektrometer; Perkin-Elmer; Modell 3100
• UV-VIS Spektrometer; Perkin-Elmer; Modell Lambda 41
• HPLC Agilent LC-System 1100 mit diversen Modulen, wie isokratische Pumpe, Säulenofen, Diodenarray-Detektor sowie Brechungsindex-Detektor