Arbeitsgruppe Chemische Prozesse in der Mikrotechnik

Ausstattung

Die Arbeitsgruppe "Chemische Prozesse in der Mikrotechnik" profitiert von der hervorragenden Ausstattung des Studienortes Zweibrücken.

Neben den naturwissenschaftlichen und ingenieurwissenschaftlichen Grundlagenlaboren (Chemie, Physik, Biologie, Biochemie und E-Technik) sowie Großgeräten (zum Beispiel  Rasterelektronenmikroskop) verfügt der Fachbereich IMST über einen umfassend ausgestatteten Reinraum für siliciumtechnische- und LIGA- Anwendungen.


Zusätzliche Ausstattung

Zusätzlich stehen der Arbeitsgruppe noch folgende Geräte zur Verfügung:

  • 2 Industrielle Galvanikanlagen für 4-Zoll-Wafer von MOT Mikro und Oberflächen Technik (derzeit für Nickel- und Nickel-Eisen-Legierungsabscheidungen genutzt)
  • Gold-Galvanik-Anlage
  • Autolab RotaHull - Rotierende Zylinder Hull Zelle
  • Potentiostat PGSTAT302N; Metrohm incl. ECD-Modul für kleine Ströme
  • Atomabsorptions-Spektrometer; Perkin-Elmer; Modell 3100
  • UV-VIS Spektrometer; Perkin-Elmer; Modell Lambda 41
  • HPLC Agilent LC-System 1100 mit diversen Modulen, wie isokratische Pumpe, Säulenofen, Diodenarray-Detektor sowie Brechungsindex-Detektor