Chemische Prozesse in der Mikrosystemtechnik

Allgemeines:

  Formelsammlung

 

WS 2018/19

Bachelor

1. Semester:

  Laborveranstaltung Grundlagenlabor Chemie:

      Einführung in die Laborveranstaltung

      Laborskript MNT

      Laborskript ALS

  Vorlesung Allgemeine Chemie 1:

      Vorlesungsunterlagen: 0 12345678

        9101112  13141516171819

      Übungen: 1  2  3

3. Semester:

  Laborveranstaltung  Lithographie:

      Laborskript

  Vorlesung Lithographie:

      Vorlesungsunterlagen: 1  234567

Master

Vorlesung Chemische Nanotechnologie:

      Bedingungen

      Vorlesungsunterlagen

 

SS 2018

Bachelor

2. Semester:

  Vorlesung Chemie 2:

      Vorlesungsunterlagen: 1234  567

6. Semester:

  Laborveranstaltung Chemische Mikrofertigungsverfahren:

      Laborskript: 1

  Vorlesung Chemische Mikrofertigungsverfahren:

      Termine der Vorlesung:  1

      Vorlesungsunterlagen: 1  2  3 

Master

1. Semester:

  Laborveranstaltung Elektrochemische Verfahren:

      Laborskript: 1

  Vorlesung Elektrochemische Verfahren:

      Vorlesungsunterlagen:12 3456789

       10

 

Altklausuren:

  Chemie: ALS 1 ALS 2 MNT 1MNT  2

  Lithographie: 1

  Chemische Mikrofertigungsverfahren: 1

  Elektrochemische Verfahren:12

  Nanostrukturierung: 12