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Lehrgebiet:    

  • Mikro- und Nanotechnologie

Vorlesungsthemen:

  • Einführung in die Mikrosystemtechnik
  • Nanotechnologie
  • Herstellung, Strukturierung und Charakterisierung dünner Schichten            
  • Plasmaprozesse in der mikrotechnischen Fertigung
  • Lasertechnik
  • Halbleiterphysik